示例提供了一种包括相对压力传感器的设备，所述相对压力传感器包括衬底以及处于所述衬底的面中的腔。
所述腔具有处于所述衬底中的底面。
通道从所述腔延伸出来。
隔膜支撑压力感测器件，并且被安装至所述衬底并与所述底面相对。

M·W·库姆比 陈健华

惠普发展公司,有限责任合伙企业

美国德克萨斯

示例提供了一种包括相对压力传感器的设备，所述相对压力传感器包括衬底以及处于所述衬底的面中的腔。
所述腔具有处于所述衬底中的底面。
通道从所述腔延伸出来。
隔膜支撑压力感测器件，并且被安装至所述衬底并与所述底面相对。