本实用新型提供一种活塞气缸减振机构，其包括一第一气缸以及与所述第一气缸相互咬合的第一活塞，所述第一活塞可以在所述第一气缸腔体内部活动；所述活塞气缸减振机构还包括一设置于所述第一气缸腔体内并位于第一气缸以及第一活塞之间的偏摆机构，其中，所述活塞气缸减振机构的偏摆机构进一步包括一个第二气缸和一个柔性活塞长杆，所述第二气缸装配在第一活塞上或装配在第一气缸腔体内壁上，所述柔性活塞长杆一端置于第二气缸内并与第二气缸相互咬合且可在第二气缸腔体内活动，另一端与第二气缸相对应的装配在第一气缸腔体内壁上或装配在第一活塞上。
本实用新型的活塞气缸减振机构可实现两自由度方向的减振，组合使用还可实现六自由度方向的减振。

周宏权 严天宏 袁志扬

上海微电子装备有限公司

200000上海市张江高科技园区张东路1525号

本实用新型提供一种活塞气缸减振机构，其包括一第一气缸以及与所述第一气缸相互咬合的第一活塞，所述第一活塞可以在所述第一气缸腔体内部活动；所述活塞气缸减振机构还包括一设置于所述第一气缸腔体内并位于第一气缸以及第一活塞之间的偏摆机构，其中，所述活塞气缸减振机构的偏摆机构进一步包括一个第二气缸和一个柔性活塞长杆，所述第二气缸装配在第一活塞上或装配在第一气缸腔体内壁上，所述柔性活塞长杆一端置于第二气缸内并与第二气缸相互咬合且可在第二气缸腔体内活动，另一端与第二气缸相对应的装配在第一气缸腔体内壁上或装配在第一活塞上。
本实用新型的活塞气缸减振机构可实现两自由度方向的减振，组合使用还可实现六自由度方向的减振。