本发明公开了一种金属凹印版激光制造方法及系统，其具有版纹深度误差可控、大幅面图案制造精度高以及制造过程对凹印版基板寿命影响小等优点。
该方法主要步骤为：1、标定单层图案不同深度与激光加工参数的对应关系；2、版纹结构分层，得到单层扫描图案；3、凹印版基板位置校准及激光器出射光束焦点位置校准；4、单层扫描图案的轨迹规划；5、第一层图案加工制造；6、重复步骤5，直至版纹结构加工完成。

李明 谭羽 李珣

中国科学院西安光学精密机械研究所

710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号

本发明公开了一种金属凹印版激光制造方法及系统，其具有版纹深度误差可控、大幅面图案制造精度高以及制造过程对凹印版基板寿命影响小等优点。
该方法主要步骤为：1、标定单层图案不同深度与激光加工参数的对应关系；2、版纹结构分层，得到单层扫描图案；3、凹印版基板位置校准及激光器出射光束焦点位置校准；4、单层扫描图案的轨迹规划；5、第一层图案加工制造；6、重复步骤5，直至版纹结构加工完成。