本发明提供能够高精度地对工件的多个处理预定面进行连续的处理的工件保持夹具、电子部件处理装置及电子部件的制造方法。
工件保持夹具(1)具有保持工件(50)的工件保持机构(10)。
工件保持机构(10)具有工件收纳部(13)，该工件收纳部(13)具有工件(50)的三个面抵接的第一抵接面(131)、第二抵接面(132)、第三抵接面(133)。
工件收纳部(13)以使收纳于工件收纳部(13)的工件(50)的至少两个处理预定面(凸缘部(52a)的端面(52a3)和凸缘部(52a、52b)的上表面(52a1、52a2))露出的方式第一抵接面(131)的相反侧和第二抵接面(132)的相反侧开放。

佐藤孝辉

TDK株式会社

日本东京都

本发明提供能够高精度地对工件的多个处理预定面进行连续的处理的工件保持夹具、电子部件处理装置及电子部件的制造方法。
工件保持夹具(1)具有保持工件(50)的工件保持机构(10)。
工件保持机构(10)具有工件收纳部(13)，该工件收纳部(13)具有工件(50)的三个面抵接的第一抵接面(131)、第二抵接面(132)、第三抵接面(133)。
工件收纳部(13)以使收纳于工件收纳部(13)的工件(50)的至少两个处理预定面(凸缘部(52a)的端面(52a3)和凸缘部(52a、52b)的上表面(52a1、52a2))露出的方式第一抵接面(131)的相反侧和第二抵接面(132)的相反侧开放。