一种用于配置为与晶片盒配合的洁净室设备的盒盖打开装置。
该盒盖打开装置包括：壁结构，其具有分隔壁，分隔壁具有用于通过其传送晶片的壁开口；盒对接端口；以及设置到该壁结构的盖操纵器。
盒对接端口布置在壁结构的第一侧，用于对接晶片盒。
盖操纵器可相对于壁开口移动并配置成接合对接在盒对接端口中的晶片盒的盒盖。
盒盖打开装置还包括鼓风机，该鼓风机具有细长的狭缝状的喷嘴，该喷嘴大致横跨壁开口的高度或宽度，并且配置成将净化气体的帘状射流吹入晶片盒的盒内部。

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ASM IP私人控股有限公司

荷兰阿尔梅勒

一种用于配置为与晶片盒配合的洁净室设备的盒盖打开装置。
该盒盖打开装置包括：壁结构，其具有分隔壁，分隔壁具有用于通过其传送晶片的壁开口；盒对接端口；以及设置到该壁结构的盖操纵器。
盒对接端口布置在壁结构的第一侧，用于对接晶片盒。
盖操纵器可相对于壁开口移动并配置成接合对接在盒对接端口中的晶片盒的盒盖。
盒盖打开装置还包括鼓风机，该鼓风机具有细长的狭缝状的喷嘴，该喷嘴大致横跨壁开口的高度或宽度，并且配置成将净化气体的帘状射流吹入晶片盒的盒内部。