本发明提供一种靶材的包装方法和包装工具，其中，所述靶材包括溅射面和位于所述靶材溅射面内的沟槽，所述包装方法包括：保护体，所述保护体包括接触面，所述保护体包括中心区域，所述中心区域保护体的接触面用于与所述靶材溅射面贴合；位于所述中心区域保护体的接触面上的卡件，所述卡件用于放置于所述沟槽中。
所述靶材的溅射面与所述保护体的接触面贴合，所述保护体能够减小靶材在沿垂直于所述溅射面方向上的变形。
使所述卡件置于所述沟槽中，所述卡件能够对所述沟槽两侧的靶材进行支撑，从而抑制所述靶材沿平行于所述溅射面的方向发生变形。
因此，所述靶材包装方法能够减小靶材的变形。

姚力军 潘杰 相原俊夫 王学泽 罗明浩 阮力超

宁波江丰电子材料股份有限公司

315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号

本发明提供一种靶材的包装方法和包装工具，其中，所述靶材包括溅射面和位于所述靶材溅射面内的沟槽，所述包装方法包括：保护体，所述保护体包括接触面，所述保护体包括中心区域，所述中心区域保护体的接触面用于与所述靶材溅射面贴合；位于所述中心区域保护体的接触面上的卡件，所述卡件用于放置于所述沟槽中。
所述靶材的溅射面与所述保护体的接触面贴合，所述保护体能够减小靶材在沿垂直于所述溅射面方向上的变形。
使所述卡件置于所述沟槽中，所述卡件能够对所述沟槽两侧的靶材进行支撑，从而抑制所述靶材沿平行于所述溅射面的方向发生变形。
因此，所述靶材包装方法能够减小靶材的变形。