本发明公开了一种开盒机，包括背板，背板上设有用于固定门板的获取机构，背板的一侧通过旋转副连接有滑轨架，背板的另一侧通过缓冲机构与滑轨架连接，滑轨架能够在水平驱动机构和垂直驱动机构的作用下分别沿水平方向和垂直方向运动。
本发明使得门板更容易被开启，还降低了晶圆盒的振动，简化开盒步骤，缩短了开盒时间。

张庆钊 陈百捷 姚广军 王镇清

芯导精密(北京)设备有限公司

100176 北京市海淀区中关村南大街52号3号楼七层726号

本发明公开了一种开盒机，包括背板，背板上设有用于固定门板的获取机构，背板的一侧通过旋转副连接有滑轨架，背板的另一侧通过缓冲机构与滑轨架连接，滑轨架能够在水平驱动机构和垂直驱动机构的作用下分别沿水平方向和垂直方向运动。
本发明使得门板更容易被开启，还降低了晶圆盒的振动，简化开盒步骤，缩短了开盒时间。