本发明公开了用于储存和分配化学试剂和组合物，例如用于制造微电子器件产品的高纯液体试剂和化学机械抛光剂的流体供应系统，该流体供应系统具有在分配操作期间在所容纳的液体处于或接近耗尽时检测空或接近空的情形的能力。
本发明描述了采用空检测检测布置的流体递送系统，其包括压力传感器，用于监控在供料包装和液压伺服分配泵中间分配的材料，或监控在周期进度表上被补充的分配器中的分配室补充次数，以将材料从分配器流到利用所分配的材料的下游设备。

明娜·霍维宁 约翰·R·金格里 格伦·M·汤姆 凯文·T·奥多尔蒂 柯克·米克尔森 唐纳德·D·韦尔 彼得·C·范巴斯柯克

高级技术材料公司

美国康涅狄格州

本发明公开了用于储存和分配化学试剂和组合物，例如用于制造微电子器件产品的高纯液体试剂和化学机械抛光剂的流体供应系统，该流体供应系统具有在分配操作期间在所容纳的液体处于或接近耗尽时检测空或接近空的情形的能力。
本发明描述了采用空检测检测布置的流体递送系统，其包括压力传感器，用于监控在供料包装和液压伺服分配泵中间分配的材料，或监控在周期进度表上被补充的分配器中的分配室补充次数，以将材料从分配器流到利用所分配的材料的下游设备。