一种高纯度三氯氧磷安全供料系统，连接有氮气进气阀的氮气进气管一端插入高纯度三氯氧磷储罐底部，在供料装置外的另一端连接氮气阀，连接有氮气出气阀的氮气出气管一端插入高纯度三氯氧磷储罐顶部，供料装置上设置有尾气自动排风口，供料装置内壁的上部安装有高纯度三氯氧磷气体泄漏检测报警器，内壁的中部安装有视频监控摄像头，内壁的下部安装有低液位监测报警器，并与供料装置上的电脑端口连接，供料装置内底部装有LED照明灯，供料装置的正面有观察窗。
该系统增强了操作使用的连续性和智能化控制；解决了高纯度三氯氧磷使用时出现泄漏时的报警及处理措施；解决了高纯度三氯氧磷使用时的现场及远程监控、物料液位监控问题。

向东 舒骁骥 潘先伟

向东

550001 贵州省贵阳市云岩区省府路39号3栋4楼4号

一种高纯度三氯氧磷安全供料系统，连接有氮气进气阀的氮气进气管一端插入高纯度三氯氧磷储罐底部，在供料装置外的另一端连接氮气阀，连接有氮气出气阀的氮气出气管一端插入高纯度三氯氧磷储罐顶部，供料装置上设置有尾气自动排风口，供料装置内壁的上部安装有高纯度三氯氧磷气体泄漏检测报警器，内壁的中部安装有视频监控摄像头，内壁的下部安装有低液位监测报警器，并与供料装置上的电脑端口连接，供料装置内底部装有LED照明灯，供料装置的正面有观察窗。
该系统增强了操作使用的连续性和智能化控制；解决了高纯度三氯氧磷使用时出现泄漏时的报警及处理措施；解决了高纯度三氯氧磷使用时的现场及远程监控、物料液位监控问题。