一种涉及半导体生产领域的储液罐加液装置，所述的装置包含储液罐、液位传感器、控制器及相关管路；所述的储液罐的顶端设有辅助管路，储液罐罐壁的一侧上部设有排气管路，储液罐的底端设有供液管路和加液管路；所述的供液管路与加液管路各自靠近储液罐的一端端部均设有隔膜阀，且隔膜阀均与设在储液罐外部的控制器连接；所述的液位传感器设置在储液罐的顶端中部，且与控制器连接；所述的装置能够稳定可靠的对清洗槽进行精准的补液，从而确保了清洗槽内的清洗液得到精准的补充，进而有效的保障了清洗的效果。

张伟峰 霍得生 蔺晓琳 李军峰 张磊

上海超日（洛阳）太阳能有限公司

471900 河南省洛阳市偃师市工业区

一种涉及半导体生产领域的储液罐加液装置，所述的装置包含储液罐、液位传感器、控制器及相关管路；所述的储液罐的顶端设有辅助管路，储液罐罐壁的一侧上部设有排气管路，储液罐的底端设有供液管路和加液管路；所述的供液管路与加液管路各自靠近储液罐的一端端部均设有隔膜阀，且隔膜阀均与设在储液罐外部的控制器连接；所述的液位传感器设置在储液罐的顶端中部，且与控制器连接；所述的装置能够稳定可靠的对清洗槽进行精准的补液，从而确保了清洗槽内的清洗液得到精准的补充，进而有效的保障了清洗的效果。