本实用新型涉及一种氩尾气回收净化系统，包括氩尾气收集装置和氩尾气净化精制装置。
氩尾气收集装置包括过滤单元和加压单元。
过滤单元用于去除氩尾气中的固体颗粒物得到初步过滤后的氩尾气。
加压单元用于将初步过滤后的氩尾气加压到额定压力得到加压后的氩尾气。
氩尾气净化精制装置包括催化单元、吸附单元、脱氮单元、精馏单元。
催化单元用于催化加压后的氩尾气得到催化后的氩尾气。
吸附单元用于吸附催化后的氩尾气中的二氧化碳和水，得到吸附后的氩尾气。
脱氮单元用于脱除吸附后的氩尾气中的部分氮，得到脱氮后的氩尾气。
精馏单元用于精馏脱氮后的氩尾气，得到高纯氩。
本实用新型易于实现，所需成本和能耗均较低，可以提高氩产量。

孙宁 黄岩岩 李晓雯 黄明群 何辉辉

苏州市兴鲁空分设备科技发展有限公司

215131 江苏省苏州市相城经济开发区澄波路989号

本实用新型涉及一种氩尾气回收净化系统，包括氩尾气收集装置和氩尾气净化精制装置。
氩尾气收集装置包括过滤单元和加压单元。
过滤单元用于去除氩尾气中的固体颗粒物得到初步过滤后的氩尾气。
加压单元用于将初步过滤后的氩尾气加压到额定压力得到加压后的氩尾气。
氩尾气净化精制装置包括催化单元、吸附单元、脱氮单元、精馏单元。
催化单元用于催化加压后的氩尾气得到催化后的氩尾气。
吸附单元用于吸附催化后的氩尾气中的二氧化碳和水，得到吸附后的氩尾气。
脱氮单元用于脱除吸附后的氩尾气中的部分氮，得到脱氮后的氩尾气。
精馏单元用于精馏脱氮后的氩尾气，得到高纯氩。
本实用新型易于实现，所需成本和能耗均较低，可以提高氩产量。