本发明公开了蚀刻高浓度废液回收再利用的处理系统及方法，包括四阶段处理系统，所述四阶段处理系统包括通过泵依次连接的第一阶段处理系统、第二阶段处理系统、第三阶段处理系统和第四阶段处理系统，处理方法包括第一阶段硅酸钠、第二阶段氟化钙、第三阶段硝酸钠和第四阶段热回收，本发明设计合理，能实现废液中的氟离子和硝酸根离子的彻底资源化回收，对现有环境零负担。

冯合生 冯韦纶

冯合生 冯韦纶

中国台湾台北市文山区育英街67号4楼

本发明公开了蚀刻高浓度废液回收再利用的处理系统及方法，包括四阶段处理系统，所述四阶段处理系统包括通过泵依次连接的第一阶段处理系统、第二阶段处理系统、第三阶段处理系统和第四阶段处理系统，处理方法包括第一阶段硅酸钠、第二阶段氟化钙、第三阶段硝酸钠和第四阶段热回收，本发明设计合理，能实现废液中的氟离子和硝酸根离子的彻底资源化回收，对现有环境零负担。