本发明公开了一种用于神光Ⅱ高功率激光装置的氘气提纯装置，该氘气提纯装置包括氘气进入系统，氘气抽出系统和真空机组，氘气进入系统包括氘气源、靶室外进气管道、双向截止阀I、双向截止阀Ⅱ、靶室内通气管道、靶体，氘气抽出系统包括靶室内通气管道、双向截止阀Ⅲ、靶室外抽气管道，真空机组包括外壳，外壳中设有上层腔室和下层腔室，在下层腔室中设有机械泵、上层腔室中设有分子泵，外壳上端面上设有真空腔，本发明完成一次置换过程(1次充气和抽气)一般可控制在10分钟内，根据实际需要还可以降低，本发明可以将氘气总体置换时间(6‑7次的充气和抽气)控制在1小时以内，从时间上看，大大降低了实验成本。

贾果 华能 舒桦 叶君建 谢志勇 方智恒 孟祥富 黄秀光 熊俊 韩斌

中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所

201899 上海市嘉定区陈家山路1129号

本发明公开了一种用于神光Ⅱ高功率激光装置的氘气提纯装置，该氘气提纯装置包括氘气进入系统，氘气抽出系统和真空机组，氘气进入系统包括氘气源、靶室外进气管道、双向截止阀I、双向截止阀Ⅱ、靶室内通气管道、靶体，氘气抽出系统包括靶室内通气管道、双向截止阀Ⅲ、靶室外抽气管道，真空机组包括外壳，外壳中设有上层腔室和下层腔室，在下层腔室中设有机械泵、上层腔室中设有分子泵，外壳上端面上设有真空腔，本发明完成一次置换过程(1次充气和抽气)一般可控制在10分钟内，根据实际需要还可以降低，本发明可以将氘气总体置换时间(6‑7次的充气和抽气)控制在1小时以内，从时间上看，大大降低了实验成本。