本发明公开了一种光催化高能场辅助化学机械复合微细磨削方法，其加工方法为：在硅基材料零件表面供给碱性化学改性液，先采用紫外激光按预设路径扫描，扫描区材料被光催化高级氧化改性成氧化层；再切换为红外激光沿原路径再次扫描，高能场辅助下氧化层继续化学改性为硅酸盐层；关闭激光器启动微磨具，沿激光扫描路径微细磨削去除硅酸盐层；再循环上述紫外‑红外‑化学‑机械复合微细磨削过程，直至达到加工尺寸要求；最后切换供给弱酸性清洁剂冲洗、中和并回收残液完成加工。
本发明通过分步组合的复合微细磨削工艺链，增强了化学改性液效能，实现了化学改性区域和生成物的可控性，降低了硅基材料微细磨削去除难度，绿色高效地提高了加工质量。

任莹晖 李伟 李可欣 刘晓曼 周志雄

湖南大学

410082 湖南省长沙市岳麓区麓山南路1号湖南大学

本发明公开了一种光催化高能场辅助化学机械复合微细磨削方法，其加工方法为：在硅基材料零件表面供给碱性化学改性液，先采用紫外激光按预设路径扫描，扫描区材料被光催化高级氧化改性成氧化层；再切换为红外激光沿原路径再次扫描，高能场辅助下氧化层继续化学改性为硅酸盐层；关闭激光器启动微磨具，沿激光扫描路径微细磨削去除硅酸盐层；再循环上述紫外‑红外‑化学‑机械复合微细磨削过程，直至达到加工尺寸要求；最后切换供给弱酸性清洁剂冲洗、中和并回收残液完成加工。
本发明通过分步组合的复合微细磨削工艺链，增强了化学改性液效能，实现了化学改性区域和生成物的可控性，降低了硅基材料微细磨削去除难度，绿色高效地提高了加工质量。