本发明提出一种冷却系统，包括冷却管路、热交换器、冷却剂库及过滤器，冷却管路包括第一冷却管路及第二冷却管路，冷却剂库的冷却剂经由第二冷却管路传递至热交换器中，第一冷却管路传输待冷却的冷却剂至热交换器中与第二冷却管路的冷却剂进行热量交换，并将冷却后的冷却剂输送至待冷却物，热交换器经由第一输出口和第一输入口与第一冷却管路连通，并且与第二冷却管路连通，过滤器设于冷却管路上，过滤器的过滤材料含有锌，且含锌的质量比至少为50％，锌在过滤材料各组分中电极电位最低。
本发明阻止冷却管路中的冷却剂的水垢来源离子形成水垢沉积于冷却管路中，保证了冷却剂流动的畅通，提高了冷却效果的稳定性。
本发明还提供一种晶圆处理装置。

朱灿述 金志勋 徐康元

夏泰鑫半导体(青岛)有限公司

266000 山东省青岛市黄岛区太白山路172号青岛中德生态园双创中心219室

本发明提出一种冷却系统，包括冷却管路、热交换器、冷却剂库及过滤器，冷却管路包括第一冷却管路及第二冷却管路，冷却剂库的冷却剂经由第二冷却管路传递至热交换器中，第一冷却管路传输待冷却的冷却剂至热交换器中与第二冷却管路的冷却剂进行热量交换，并将冷却后的冷却剂输送至待冷却物，热交换器经由第一输出口和第一输入口与第一冷却管路连通，并且与第二冷却管路连通，过滤器设于冷却管路上，过滤器的过滤材料含有锌，且含锌的质量比至少为50％，锌在过滤材料各组分中电极电位最低。
本发明阻止冷却管路中的冷却剂的水垢来源离子形成水垢沉积于冷却管路中，保证了冷却剂流动的畅通，提高了冷却效果的稳定性。
本发明还提供一种晶圆处理装置。