一种自熔体上水平带材生长的方法,包括在熔体的表面上利用辐射冷却形成带材的前侧边缘;沿着熔体的表面在第一方向上拉起带材;以及在邻近带材的前侧边缘的区域中以热移离速率来移除自熔体辐射的热,所述热大于流经熔体至带材内的热。
彼得·L·凯乐门 孙大为 布莱恩·H·梅克英特许
瓦里安半导体设备公司
美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号
一种自熔体上水平带材生长的方法,包括在熔体的表面上利用辐射冷却形成带材的前侧边缘;沿着熔体的表面在第一方向上拉起带材;以及在邻近带材的前侧边缘的区域中以热移离速率来移除自熔体辐射的热,所述热大于流经熔体至带材内的热。