本发明是关于一种防止大尺寸二氧化硅疏松体开裂的方法,包括,将含硅的原料气体通入反应燃烧器的火焰中,生成纳米二氧化硅颗粒,其中,所述的反应燃烧器的数量为多个,多个反应燃烧器排列成一个或多个反应燃烧器排;沉积基体旋转,同时,沉积基体在水平方向上作第一运动或反应燃烧器排在水平方向上作第二运动,使生成的二氧化硅颗粒在水平方向上沉积;沉积基体在垂直方向上作第三运动或反应燃烧器排在垂直方向上作第四运动,使生成的二氧化硅颗粒在垂直方向上沉积;重复多次,得到所述的二氧化硅疏松体。
采用本发明提供的方法进行二氧化硅疏松体的制备,得到了密度均匀、边缘和面部都不易开裂的大尺寸疏松体。
聂兰舰 王宏杰 向在奎 饶传东 张辰阳 王慧 邵竹锋 王蕾 贾亚男 符博
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本发明是关于一种防止大尺寸二氧化硅疏松体开裂的方法,包括,将含硅的原料气体通入反应燃烧器的火焰中,生成纳米二氧化硅颗粒,其中,所述的反应燃烧器的数量为多个,多个反应燃烧器排列成一个或多个反应燃烧器排;沉积基体旋转,同时,沉积基体在水平方向上作第一运动或反应燃烧器排在水平方向上作第二运动,使生成的二氧化硅颗粒在水平方向上沉积;沉积基体在垂直方向上作第三运动或反应燃烧器排在垂直方向上作第四运动,使生成的二氧化硅颗粒在垂直方向上沉积;重复多次,得到所述的二氧化硅疏松体。
采用本发明提供的方法进行二氧化硅疏松体的制备,得到了密度均匀、边缘和面部都不易开裂的大尺寸疏松体。