本发明提供一种以简单的方法且同时对玻璃基板的两面的边缘进行倒角的倒角方法和倒角装置。
一种玻璃基板的倒角方法,对玻璃基板照射激光来对基板端部进行的倒角,从玻璃基板端部的第一主面侧将CO脉冲激光以聚光(散焦)在从第一主面朝向法线方向外侧偏离了规定距离的位置处的方式进行照射同时沿玻璃基板端部进行扫描,对玻璃基板端部的第一主面侧以及与第一主面相反的第二主面侧的边缘同时进行熔融倒角。
宫崎宇航 西岛浩一
三星钻石工业株式会社
日本大阪府
本发明提供一种以简单的方法且同时对玻璃基板的两面的边缘进行倒角的倒角方法和倒角装置。
一种玻璃基板的倒角方法,对玻璃基板照射激光来对基板端部进行的倒角,从玻璃基板端部的第一主面侧将CO脉冲激光以聚光(散焦)在从第一主面朝向法线方向外侧偏离了规定距离的位置处的方式进行照射同时沿玻璃基板端部进行扫描,对玻璃基板端部的第一主面侧以及与第一主面相反的第二主面侧的边缘同时进行熔融倒角。