本实用新型公开了一种喷淋式蚀刻机过滤装置，包括安装在蚀刻舱内回流管口处并覆盖整个回流管口的装置本体，所述装置本体包括支架，所述支架上由上至下依次设置有粗滤网和细滤网。
本实用新型主要是在蚀刻机蚀刻舱内增加过滤网进行两级过滤：一级过滤主要是选用粗滤网过滤大颗粒杂质；二级过滤采用细滤网过滤小颗粒杂质，对蚀刻过的酸液中的部分杂质（主要是硅酸盐、及其他杂质）进行过滤，人工定期对过滤出来的杂质进行清理，原理较为简单，操作方便。

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本实用新型主要是在蚀刻机蚀刻舱内增加过滤网进行两级过滤：一级过滤主要是选用粗滤网过滤大颗粒杂质；二级过滤采用细滤网过滤小颗粒杂质，对蚀刻过的酸液中的部分杂质（主要是硅酸盐、及其他杂质）进行过滤，人工定期对过滤出来的杂质进行清理，原理较为简单，操作方便。