本发明涉及一种含有多铝红柱石的烧结体、其制法及复合基板。
本发明的含有多铝红柱石的烧结体除了含有多铝红柱石以外，还含有从由氮化硅、氮氧化硅及硅铝氧氮陶瓷构成的组中选择的至少1种。
该含有多铝红柱石的烧结体优选40～400℃下的热膨胀系数低于4.3ppm/℃，开口气孔率为0.5％以下，平均结晶粒径为1.5μm以下。

矶田佳范 铃木能大 井上胜弘 胜田祐司

日本碍子株式会社

日本国爱知县

本发明涉及一种含有多铝红柱石的烧结体、其制法及复合基板。
本发明的含有多铝红柱石的烧结体除了含有多铝红柱石以外，还含有从由氮化硅、氮氧化硅及硅铝氧氮陶瓷构成的组中选择的至少1种。
该含有多铝红柱石的烧结体优选40～400℃下的热膨胀系数低于4.3ppm/℃，开口气孔率为0.5％以下，平均结晶粒径为1.5μm以下。