本发明提供了一种硫酸回收方法，其可方便地用于半导体工业硫酸废液的回收处理、生产成本低、能耗低、回收利用效果好，为此，本发明还提供一种硫酸回收系统；其利用蒸馏原理并采用精馏和分馏两段式工艺处理含硫酸质量分数为50～60%的较高浓度半导体工业硫酸废液，精馏时，硫酸废液中的双氧水杂质可氧化有机物杂质，使有机物降解，双氧水无法全部氧化降解时通过氧化塔进行氧化降解，实现有机物和双氧水杂质的双去除；分馏时，由于金属盐杂质沸点较高，分馏之后留在加热器底部，通过排渣去除金属盐杂质，回收的浓硫酸质量分数达到92.5%，为可直接进行销售的工业级硫酸。

刘晓雨 朱玲慧 刘围 郭维林

江苏电科环保有限公司

214142 江苏省无锡市新吴区高浪东路19号逸林大厦805室

本发明提供了一种硫酸回收方法，其可方便地用于半导体工业硫酸废液的回收处理、生产成本低、能耗低、回收利用效果好，为此，本发明还提供一种硫酸回收系统；其利用蒸馏原理并采用精馏和分馏两段式工艺处理含硫酸质量分数为50～60%的较高浓度半导体工业硫酸废液，精馏时，硫酸废液中的双氧水杂质可氧化有机物杂质，使有机物降解，双氧水无法全部氧化降解时通过氧化塔进行氧化降解，实现有机物和双氧水杂质的双去除；分馏时，由于金属盐杂质沸点较高，分馏之后留在加热器底部，通过排渣去除金属盐杂质，回收的浓硫酸质量分数达到92.5%，为可直接进行销售的工业级硫酸。