抗蚀剂组合物、抗蚀图案形成方法、及用于其的多酚化合物 下载此专利PDF版本

CN201680018198.3 图案 组合 化合物 用于 方法

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专利摘要

本发明为下述通式(1)所示的化合物。

专利状态

  1. 申请日
  2. 公开日
  3. 有效专利

基础信息

专利号
CN201680018198.3
申请日
2016-03-02
公开日
2021-04-23
公开号
CN107428717B
主分类号
/C/C07/ 化学；冶金
标准类别
有机化学
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
有效专利

发明人

樋田匠 越后雅敏 佐藤隆 清水洋子

申请人

三菱瓦斯化学株式会社

申请人地址

日本东京都

专利摘要

本发明为下述通式(1)所示的化合物。

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