本发明为含不饱和键的硅烷化合物的精制方法和制造方法及其组合物。
目的在于提供能够由包含四氢呋喃和含不饱和键的硅烷化合物的混合物获得高纯度的含不饱和键的硅烷化合物的精制方法。
使用含不饱和键的硅烷化合物的精制方法，其特征在于，对下述通式(1)所示的至少1种含不饱和键的硅烷化合物与四氢呋喃与沸点高于前述含不饱和键的硅烷化合物和四氢呋喃的高沸点溶剂的混合物进行蒸馏。
Si(R

矶野芳美 近藤良介 三浦雅大 森高 高桥干弘

中央硝子株式会社

日本山口县

本发明为含不饱和键的硅烷化合物的精制方法和制造方法及其组合物。
目的在于提供能够由包含四氢呋喃和含不饱和键的硅烷化合物的混合物获得高纯度的含不饱和键的硅烷化合物的精制方法。
使用含不饱和键的硅烷化合物的精制方法，其特征在于，对下述通式(1)所示的至少1种含不饱和键的硅烷化合物与四氢呋喃与沸点高于前述含不饱和键的硅烷化合物和四氢呋喃的高沸点溶剂的混合物进行蒸馏。
Si(R