专利摘要
本发明提供用于形成促进定向自组装图案形成的中性层的无规共聚物、用于形成包含所述无规共聚物的图案的层压板以及使用所述无规共聚物形成高质量图案的方法。
专利状态
基础信息
- 专利号
- CN201810886120.4
- 申请日
- 2018-08-06
- 公开日
- 2021-07-16
- 公开号
- CN109422849B
- 主分类号
- /C/C08/ 化学;冶金
- 标准类别
- 有机高分子化合物;其制备或化学加工;以其为基料的组合物
- 批准发布部门
- 国家知识产权局
- 专利状态
- 有效专利
发明人
李滥揆 金善英 李光国 咸珍守
申请人
SK新技术株式会社
申请人地址
韩国首尔
专利摘要
本发明提供用于形成促进定向自组装图案形成的中性层的无规共聚物、用于形成包含所述无规共聚物的图案的层压板以及使用所述无规共聚物形成高质量图案的方法。
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