本发明公开了一种高机械强度强激光装置倍频元件匹配薄膜及其制备方法，属于光学材料技术领域。
其包括以下步骤：将甲基三乙氧基硅烷、原硅酸乙酯、去离子水和有机溶剂混合，在加热下搅拌反应，制得低聚物溶胶；将低聚物溶胶与有机溶剂混合，制得涂膜溶胶；将涂膜溶胶涂覆在基底上，制得待固化薄膜；对待固化薄膜进行热处理，制得匹配薄膜。
本发明制得的匹配薄膜其固化强高度更高、机械力学性能更优。

王天宇 张剑锋 邓雪然 雷向阳 杨伟 惠浩浩 张清华 马红菊 张帅 张利平

中国工程物理研究院激光聚变研究中心

621900 四川省绵阳市绵山路64号

本发明公开了一种高机械强度强激光装置倍频元件匹配薄膜及其制备方法，属于光学材料技术领域。
其包括以下步骤：将甲基三乙氧基硅烷、原硅酸乙酯、去离子水和有机溶剂混合，在加热下搅拌反应，制得低聚物溶胶；将低聚物溶胶与有机溶剂混合，制得涂膜溶胶；将涂膜溶胶涂覆在基底上，制得待固化薄膜；对待固化薄膜进行热处理，制得匹配薄膜。
本发明制得的匹配薄膜其固化强高度更高、机械力学性能更优。