本发明的感光性树脂组合物包含碱溶性树脂、感光剂和溶剂,上述溶剂包含脲化合物或非环状结构的酰胺化合物。
脲化合物的结构优选为非环状结构。
并且,脲化合物优选为四甲基脲。
并且,非环状结构的酰胺化合物例如优选为3‑甲氧基‑N,N‑二甲基丙酰胺。
另外,碱溶性树脂优选为聚酰胺树脂。
北畑太郎 川浪卓士
住友电木株式会社
日本东京都
本发明的感光性树脂组合物包含碱溶性树脂、感光剂和溶剂,上述溶剂包含脲化合物或非环状结构的酰胺化合物。
脲化合物的结构优选为非环状结构。
并且,脲化合物优选为四甲基脲。
并且,非环状结构的酰胺化合物例如优选为3‑甲氧基‑N,N‑二甲基丙酰胺。
另外,碱溶性树脂优选为聚酰胺树脂。