本发明提供水性CMP抛光组合物，其包含以所述组合物的总重量计0.5到30重量％的多个含有阳离子氮原子的细长、弯曲或结节状胶态硅石颗粒分散体，和0.001到0.5重量％，优选10到500ppm的具有阳离子胺基的二烯丙基胺盐(如二烯丙基卤化铵)，或具有阳离子胺基的二烯丙基烷基胺盐(如二烯丙基烷基铵盐)的阳离子共聚物，或所述共聚物的混合物，其中所述组合物的pH为1到4.5。
优选地，具有阳离子胺基的二烯丙基胺盐的所述阳离子共聚物包含二烯丙基氯化铵与二氧化硫的共聚物，并且具有阳离子胺基的所述二烯丙基烷基胺盐的所述共聚物包含二烯丙基单甲基卤化铵(例如二烯丙基单甲基氯化铵)与二氧化硫的共聚物。
浆料组合物在具有氮化物和硅图案的图案晶片的CMP抛光中表现出良好的氧化物选择性。

N·K·彭塔 J·考兹休克 D·莫斯利 K-A·K·雷迪 M·万哈尼赫姆

罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司

美国特拉华州

本发明提供水性CMP抛光组合物，其包含以所述组合物的总重量计0.5到30重量％的多个含有阳离子氮原子的细长、弯曲或结节状胶态硅石颗粒分散体，和0.001到0.5重量％，优选10到500ppm的具有阳离子胺基的二烯丙基胺盐(如二烯丙基卤化铵)，或具有阳离子胺基的二烯丙基烷基胺盐(如二烯丙基烷基铵盐)的阳离子共聚物，或所述共聚物的混合物，其中所述组合物的pH为1到4.5。
优选地，具有阳离子胺基的二烯丙基胺盐的所述阳离子共聚物包含二烯丙基氯化铵与二氧化硫的共聚物，并且具有阳离子胺基的所述二烯丙基烷基胺盐的所述共聚物包含二烯丙基单甲基卤化铵(例如二烯丙基单甲基氯化铵)与二氧化硫的共聚物。
浆料组合物在具有氮化物和硅图案的图案晶片的CMP抛光中表现出良好的氧化物选择性。