本发明提供一种超薄蓝宝石片的制备方法，所述超薄蓝宝石片的厚度为0.02～0.10mm，所述方法包括如下步骤，先双面抛光蓝宝石片，直至双面的粗糙度均为0.5nm以下，且蓝宝石片的厚度为0.15mm以上；再将步骤A得到的蓝宝石片贴蜡固定在工件盘上，上表面采用单面减薄机减薄，单面减薄机含有砂轮，且砂轮的底面与已贴蜡固定好的蓝宝石片的上表面进行平面研磨而减薄蓝宝石片至其目标厚度加0.03mm以上；最后对步骤B得到的贴蜡固定在工件盘上的蓝宝石片的上表面进行单面抛光至蓝宝石片的上表面的粗糙度为0.5nm以下，同时在单面抛光过程中进一步降低蓝宝石片厚度而得到所述超薄蓝宝石片。
本发明高良率地得到一种超薄蓝宝石片，其表面粗糙度和TTV均符合要求。

饶桥兵 宋前兵

蓝思科技（长沙）有限公司

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本发明提供一种超薄蓝宝石片的制备方法，所述超薄蓝宝石片的厚度为0.02～0.10mm，所述方法包括如下步骤，先双面抛光蓝宝石片，直至双面的粗糙度均为0.5nm以下，且蓝宝石片的厚度为0.15mm以上；再将步骤A得到的蓝宝石片贴蜡固定在工件盘上，上表面采用单面减薄机减薄，单面减薄机含有砂轮，且砂轮的底面与已贴蜡固定好的蓝宝石片的上表面进行平面研磨而减薄蓝宝石片至其目标厚度加0.03mm以上；最后对步骤B得到的贴蜡固定在工件盘上的蓝宝石片的上表面进行单面抛光至蓝宝石片的上表面的粗糙度为0.5nm以下，同时在单面抛光过程中进一步降低蓝宝石片厚度而得到所述超薄蓝宝石片。
本发明高良率地得到一种超薄蓝宝石片，其表面粗糙度和TTV均符合要求。