包含烷基胺及环糊精的化学机械抛光加工组合物 下载此专利PDF版本

CN201680082415.5 机械 加工 化学 环糊精 烷基

目录

专利摘要

描述了适用于化学机械加工基板、尤其是含有介电材料的基板的表面的方法的组合物，其中该组合物含有环糊精及烷基胺。

专利状态

  1. 申请日
  2. 公开日
  3. 有效专利

基础信息

专利号
CN201680082415.5
申请日
2016-12-29
公开日
2021-01-26
公开号
CN108699396B
主分类号
/C/C09/ 化学；冶金
标准类别
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
有效专利

发明人

A.W.海恩斯 李常怡

申请人

嘉柏微电子材料股份公司

申请人地址

美国伊利诺伊州

专利摘要

描述了适用于化学机械加工基板、尤其是含有介电材料的基板的表面的方法的组合物，其中该组合物含有环糊精及烷基胺。

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