本发明提供了一种无水抛光KDP晶体的方法，实现了KDP晶体材料的高精高效抛光。
无水抛光过程分为粗抛光和细抛光，无水抛光液成分包括油酸甲酯、碳化硅/氧化铝混合磨粒和无水碳酸钠，分为无水粗抛光液和无水细抛光液，无水粗抛光液和无水细抛光液之间的区别体现在油酸甲酯粘度、碳化硅/氧化铝混合磨粒的配比、粒径及浓度、无水碳酸钠粒径及浓度。
与其他KDP晶体抛光方法相比，无水抛光KDP晶体的方法所用的抛光液化学试剂无毒低害，绿色环保，抛光过程中有效地避免了KDP晶体接触水发生潮解使晶体破坏的现象产生，并有效提高了KDP晶体表面的加工质量。

张振宇 崔祥祥 刘杰 廖龙兴 李玉彪

大连理工大学

116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号

本发明提供了一种无水抛光KDP晶体的方法，实现了KDP晶体材料的高精高效抛光。
无水抛光过程分为粗抛光和细抛光，无水抛光液成分包括油酸甲酯、碳化硅/氧化铝混合磨粒和无水碳酸钠，分为无水粗抛光液和无水细抛光液，无水粗抛光液和无水细抛光液之间的区别体现在油酸甲酯粘度、碳化硅/氧化铝混合磨粒的配比、粒径及浓度、无水碳酸钠粒径及浓度。
与其他KDP晶体抛光方法相比，无水抛光KDP晶体的方法所用的抛光液化学试剂无毒低害，绿色环保，抛光过程中有效地避免了KDP晶体接触水发生潮解使晶体破坏的现象产生，并有效提高了KDP晶体表面的加工质量。