本发明公开了一种配向膜脱膜剂组合物，主要组成为碱性组分、非质子极性溶剂、有机醇溶剂和水，碱性组分中包含吗啉和/或具有吗啉环仲胺基团的吗啉衍生物。
本发明配向膜脱膜剂组合物中引入了具有仲胺基团的吗啉和/或吗啉衍生物，吗啉分子结构中具有仲胺基团，因此其水溶液具有强碱性，可部分替代或者全部替代碱金属氢氧化物，降低脱膜剂组合物中的碱金属氢氧化物含量，不伤底层ITO及金属层；配向膜脱膜剂组合物中的水含量高，有助于提高配向膜脱膜过程中的的安全系数。
本发明还公开了一种配向膜脱膜剂组合物的脱膜工艺。

徐杨 邵勇 朱龙 陈林 承明忠 周勰 殷福华 赵文虎

江阴江化微电子材料股份有限公司

214400 江苏省无锡市江阴市周庄镇长寿云顾路581号

本发明公开了一种配向膜脱膜剂组合物，主要组成为碱性组分、非质子极性溶剂、有机醇溶剂和水，碱性组分中包含吗啉和/或具有吗啉环仲胺基团的吗啉衍生物。
本发明配向膜脱膜剂组合物中引入了具有仲胺基团的吗啉和/或吗啉衍生物，吗啉分子结构中具有仲胺基团，因此其水溶液具有强碱性，可部分替代或者全部替代碱金属氢氧化物，降低脱膜剂组合物中的碱金属氢氧化物含量，不伤底层ITO及金属层；配向膜脱膜剂组合物中的水含量高，有助于提高配向膜脱膜过程中的的安全系数。
本发明还公开了一种配向膜脱膜剂组合物的脱膜工艺。