本发明提供一种氧化物烧结体，其在高功率成膜时也不从靶表面喷溅，具有高成膜速率，可以用于能够得到高折射率膜的溅射靶。
所述氧化物烧结体具有锌、铌、铝及氧作为构成元素，其中，在将锌、铌及铝的含量分别设为Zn、Nb及Al时，Nb/(Zn+Nb+Al)＝0.076～0.289，Al/(Zn+Nb+Al)＝0.006～0.031。

伊藤谦一 原浩之 原慎一

东曹株式会社

日本山口县

本发明提供一种氧化物烧结体，其在高功率成膜时也不从靶表面喷溅，具有高成膜速率，可以用于能够得到高折射率膜的溅射靶。
所述氧化物烧结体具有锌、铌、铝及氧作为构成元素，其中，在将锌、铌及铝的含量分别设为Zn、Nb及Al时，Nb/(Zn+Nb+Al)＝0.076～0.289，Al/(Zn+Nb+Al)＝0.006～0.031。