本发明公开了一种辊到辊制造设备和一种处理柔性膜的方法,该辊到辊制造设备包括:真空室,其具有安装室和工艺室;在安装室中的预处理单元,用于处理被传送的膜的表面以增强在随后的CVD工艺中的膜特性;在工艺室中的工艺筒,用于在其上卷绕膜;在工艺室中的工艺处理单元,通过对卷绕在工艺筒上的膜进行CVD工艺来形成层;以及在安装室和工艺室中的多个加热器,用于逐渐增加卷绕在工艺筒上的膜的温度,以防止由于高温工艺筒而对膜施加热冲击。
陆升炫 鞠允镐 崔诚祐
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韩国首尔
本发明公开了一种辊到辊制造设备和一种处理柔性膜的方法,该辊到辊制造设备包括:真空室,其具有安装室和工艺室;在安装室中的预处理单元,用于处理被传送的膜的表面以增强在随后的CVD工艺中的膜特性;在工艺室中的工艺筒,用于在其上卷绕膜;在工艺室中的工艺处理单元,通过对卷绕在工艺筒上的膜进行CVD工艺来形成层;以及在安装室和工艺室中的多个加热器,用于逐渐增加卷绕在工艺筒上的膜的温度,以防止由于高温工艺筒而对膜施加热冲击。