本发明公开了一种基于等离子气相沉积的金刚石薄膜及其制备方法。
金刚石薄膜的制备方法包括以下步骤;1、取以下各重量份原料;纳米金刚石微粉75‑80份、丙烯酸甲酯12‑15份、分散剂12‑15份、硬脂酸钠1‑3份经过分步处理,得到纳米金刚石混合液;2、采用化学镀,制得镍‑氮化硅基底,再对镍‑氮化硅基底进行海藻酸钠改性;3、上述处理得到的基底置于纳米金刚石混合液中,超声震荡,吸附、烘干;4、将上述得到的基底,置于微波等离子沉积设备中,进行氢化处理,最终得到金刚石薄膜。
本方法制备的金刚石薄膜与基底的附着力强,不易脱落;金刚石薄膜的韧性和耐摩擦性能较好。
满卫东 朱长征 龚闯 吴剑波 蒋剑宏 杨春梅
上海征世科技股份有限公司
201799 上海市青浦区华浦路500号2幢西侧
本发明公开了一种基于等离子气相沉积的金刚石薄膜及其制备方法。
金刚石薄膜的制备方法包括以下步骤;1、取以下各重量份原料;纳米金刚石微粉75‑80份、丙烯酸甲酯12‑15份、分散剂12‑15份、硬脂酸钠1‑3份经过分步处理,得到纳米金刚石混合液;2、采用化学镀,制得镍‑氮化硅基底,再对镍‑氮化硅基底进行海藻酸钠改性;3、上述处理得到的基底置于纳米金刚石混合液中,超声震荡,吸附、烘干;4、将上述得到的基底,置于微波等离子沉积设备中,进行氢化处理,最终得到金刚石薄膜。
本方法制备的金刚石薄膜与基底的附着力强,不易脱落;金刚石薄膜的韧性和耐摩擦性能较好。