本发明公开了一种缓蚀剂及其制备方法，所述缓蚀剂包括以下质量分数的组分：10‑15％含硫咪唑啉、5‑10％含聚乙二醇的酯类、5％‑10％助剂、65％‑85％有机溶剂。
所述制备方法包括：将摩尔比为(0.8‑0.9):1:(0.05‑0.1)的有机胺A、有机酸B和聚乙二醇C充分混合后升温至220‑240℃，反应2‑3小时后停止加热，待体系冷却至100‑140℃时，再向体系中加入含硫有机化合物D，并继续反应2‑4小时；然后在所述混合溶液中加入5‑10重量份的助剂和65‑85重量份的有机溶剂，得到所述缓蚀剂。
本发明通过在含硫咪唑啉缓蚀剂中引入含聚乙二醇的酯类，利用含聚乙二醇的酯类中的醚键使体系的泡沫较少。

张强 宋立东 黄刚华 江晶晶 顾锡奎 陈文 莫林 谷坛 熊钢 张昌会 窦丽媛 田源 彭芳

中国石油天然气股份有限公司

100007 北京市东城区东直门北大街9号中国石油大厦

本发明公开了一种缓蚀剂及其制备方法，所述缓蚀剂包括以下质量分数的组分：10‑15％含硫咪唑啉、5‑10％含聚乙二醇的酯类、5％‑10％助剂、65％‑85％有机溶剂。
所述制备方法包括：将摩尔比为(0.8‑0.9):1:(0.05‑0.1)的有机胺A、有机酸B和聚乙二醇C充分混合后升温至220‑240℃，反应2‑3小时后停止加热，待体系冷却至100‑140℃时，再向体系中加入含硫有机化合物D，并继续反应2‑4小时；然后在所述混合溶液中加入5‑10重量份的助剂和65‑85重量份的有机溶剂，得到所述缓蚀剂。
本发明通过在含硫咪唑啉缓蚀剂中引入含聚乙二醇的酯类，利用含聚乙二醇的酯类中的醚键使体系的泡沫较少。