本发明公开了一种大尺寸晶体生长控制装置及控制方法,属于晶体材料技术领域。
一种大尺寸晶体生长控制装置,包括支架、控制器、电动伸缩杆、坩埚、加热套、供给箱和增压泵,控制器固定连接在支架的底部,加热套固定连接在支架的顶部,坩埚可拆卸套接在加热套内,支架上固定连接有支撑杆,电动伸缩杆固定连接在支撑杆上,电动伸缩杆的输出端固定连接有加热器,加热器的输出端固定连接有导热环,导热环延伸至坩埚内,电动增压泵固定连接在供给箱的侧壁,增压泵的输入端通过第一导管与供给箱相连通,增压泵的输出端通过第二导管与坩埚相连通;本发明利用加热套的通槽和壁厚顺序保证晶体的成型时,降低结晶块的多余应力,导热环降低脱离时的热冲击。
马孙明 彭方 郭玉勇 窦仁勤 毛炯 陈仪翔 张庆礼
安徽晶宸科技有限公司
230000 安徽省合肥市肥西县桃花工业园工投立恒工业广场A17栋
本发明公开了一种大尺寸晶体生长控制装置及控制方法,属于晶体材料技术领域。
一种大尺寸晶体生长控制装置,包括支架、控制器、电动伸缩杆、坩埚、加热套、供给箱和增压泵,控制器固定连接在支架的底部,加热套固定连接在支架的顶部,坩埚可拆卸套接在加热套内,支架上固定连接有支撑杆,电动伸缩杆固定连接在支撑杆上,电动伸缩杆的输出端固定连接有加热器,加热器的输出端固定连接有导热环,导热环延伸至坩埚内,电动增压泵固定连接在供给箱的侧壁,增压泵的输入端通过第一导管与供给箱相连通,增压泵的输出端通过第二导管与坩埚相连通;本发明利用加热套的通槽和壁厚顺序保证晶体的成型时,降低结晶块的多余应力,导热环降低脱离时的热冲击。