本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种热偶升降装置，包括热偶支撑架，调整热偶支撑架高度的升降机构，支撑升降机构的支撑腿，所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台上，所述支撑腿为三个连杆，所述连杆一端与所述支撑动平台可转动连接，所述连杆的另一端与传动部件可转动连接。
本发明热偶升降装置可对热偶进行三个方向的移动，节约人力，操作方便。

郝琪 林欣家 董金卫

北京七星华创电子股份有限公司

100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层

本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种热偶升降装置，包括热偶支撑架，调整热偶支撑架高度的升降机构，支撑升降机构的支撑腿，所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台上，所述支撑腿为三个连杆，所述连杆一端与所述支撑动平台可转动连接，所述连杆的另一端与传动部件可转动连接。
本发明热偶升降装置可对热偶进行三个方向的移动，节约人力，操作方便。