本实用新型公开了一种铸锭炉,其中,隔热笼通过提升件活动连接在上炉体上,热交换台和下隔热板上下间隔开地通过支柱固定在下炉体上并将热交换台置于隔热笼内,顶隔热板通过电极固定于上炉体上,所述电极从顶隔热板的底部延伸出来并固定有加热器,在炉室内,还具有设于下隔热板之上和热交换台之下的辅助隔热板,其通过丝杆活动连接在所述下炉体上。
在加热阶段,辅助隔热板与热交换块接触,减少硅溶液通过热交换块向下散热而导致的热量损失。
当本结构用于单晶硅的生产时,可以使熔化阶段固液界面较平,有利于坩埚中间和四周的单晶籽晶厚度均匀,从而提高单晶硅质量。
在长晶阶段,辅助隔热板打开,与下隔热板接触,可以加快硅溶液通过热交换块散热。
武鹏 胡亚兰 陈伟
江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
221004 江苏省徐州市徐州经济开发区杨山路88号
本实用新型公开了一种铸锭炉,其中,隔热笼通过提升件活动连接在上炉体上,热交换台和下隔热板上下间隔开地通过支柱固定在下炉体上并将热交换台置于隔热笼内,顶隔热板通过电极固定于上炉体上,所述电极从顶隔热板的底部延伸出来并固定有加热器,在炉室内,还具有设于下隔热板之上和热交换台之下的辅助隔热板,其通过丝杆活动连接在所述下炉体上。
在加热阶段,辅助隔热板与热交换块接触,减少硅溶液通过热交换块向下散热而导致的热量损失。
当本结构用于单晶硅的生产时,可以使熔化阶段固液界面较平,有利于坩埚中间和四周的单晶籽晶厚度均匀,从而提高单晶硅质量。
在长晶阶段,辅助隔热板打开,与下隔热板接触,可以加快硅溶液通过热交换块散热。