本发明的课题在于提供一种寿命长且研磨速率高、能够实现被加工物的高度的平坦性的研磨垫及其制造方法,解决方法是从含有由海成分和岛直径为10~2500nm的岛成分构成的海岛型复合纤维与粘结剂纤维的无纺布中,除去上述海成分,赋予高分子弹性体。
山内建树 神山三枝
帝人富瑞特株式会社
日本大阪府
本发明的课题在于提供一种寿命长且研磨速率高、能够实现被加工物的高度的平坦性的研磨垫及其制造方法,解决方法是从含有由海成分和岛直径为10~2500nm的岛成分构成的海岛型复合纤维与粘结剂纤维的无纺布中,除去上述海成分,赋予高分子弹性体。