一种气动马达的智能操纵装置，电源操纵端具有电源及同电源相连的单片机，硅片降温段同单片机相连，电源用来对硅片降温段执行给能，所述降温装置执行在气动马达里，电源能够是气动马达的给能装置；单片机用来对硅片降温段执行操纵，单片机为独自配备的单片机、平板电脑，单片机是气动马达的第一段单片机，它是单片机，所述单片机用来操纵该不该朝硅片降温段给能及给能的功率多少。
避免了现有技术中对另一头的回转支承的降温不佳、架构不简单、降温剂也伴着流出、降温板材使用过多，加上回转支承温升很快之际，降温不佳的问题。

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一种气动马达的智能操纵装置，电源操纵端具有电源及同电源相连的单片机，硅片降温段同单片机相连，电源用来对硅片降温段执行给能，所述降温装置执行在气动马达里，电源能够是气动马达的给能装置；单片机用来对硅片降温段执行操纵，单片机为独自配备的单片机、平板电脑，单片机是气动马达的第一段单片机，它是单片机，所述单片机用来操纵该不该朝硅片降温段给能及给能的功率多少。
避免了现有技术中对另一头的回转支承的降温不佳、架构不简单、降温剂也伴着流出、降温板材使用过多，加上回转支承温升很快之际，降温不佳的问题。