原料气体液化装置具备：供给原料气体的进给管路；具有使冷却原料气体用的制冷剂膨胀并生成冷热的涡轮式膨胀机及设置于膨胀机的入口侧的膨胀机入口阀，且有制冷剂进行循环的制冷剂循环管路；进行原料气体和制冷剂的热交换的热交换器；利用与液氮的热交换进行原料气体及制冷剂的初期冷却的冷却器；以及在膨胀机启动时及停止时，以操作膨胀机入口阀的开度，并使膨胀机的转速与规定的目标值一致的形式进行反馈控制的控制装置。

山添直隆 阪本智浩 宫崎英隆 仮屋大祐 三轮靖雄 斋藤雄一 木村洋介

川崎重工业株式会社

日本兵库县神户市

原料气体液化装置具备：供给原料气体的进给管路；具有使冷却原料气体用的制冷剂膨胀并生成冷热的涡轮式膨胀机及设置于膨胀机的入口侧的膨胀机入口阀，且有制冷剂进行循环的制冷剂循环管路；进行原料气体和制冷剂的热交换的热交换器；利用与液氮的热交换进行原料气体及制冷剂的初期冷却的冷却器；以及在膨胀机启动时及停止时，以操作膨胀机入口阀的开度，并使膨胀机的转速与规定的目标值一致的形式进行反馈控制的控制装置。