本公开提供一种用于净化光学窗口(32)的表面的装置,其包括:第一电极(33),其设置于光学窗口的内部,被形成光学窗口的电介质材料所覆盖;第二电极(34a),其设置在光学窗口的周围,露出于光学窗口的至少一侧的表面;电源(50),其电连接于第一电极和第二电极之间;以及控制部(60),其对电源(50)进行控制,以便利用电源在第一电极和第二电极之间施加高频或者脉冲状的电压,沿光学窗口的表面(32a)产生介电势垒放电。
高桥荣一 濑川武彦
国立研究开发法人产业技术综合研究所
日本东京都
本公开提供一种用于净化光学窗口(32)的表面的装置,其包括:第一电极(33),其设置于光学窗口的内部,被形成光学窗口的电介质材料所覆盖;第二电极(34a),其设置在光学窗口的周围,露出于光学窗口的至少一侧的表面;电源(50),其电连接于第一电极和第二电极之间;以及控制部(60),其对电源(50)进行控制,以便利用电源在第一电极和第二电极之间施加高频或者脉冲状的电压,沿光学窗口的表面(32a)产生介电势垒放电。