本发明提供了一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器，包括：电离室、射频天线、进气系统、屏蔽罩、离子光学系统、电缆夹头；所述电离室为半椭球形,电离室入口连接进气系统，出口连接所述离子光学系统；所述屏蔽罩位于电离室外面；射频天线通上射频电流，用于在所述电离室内产生涡流电场，所述电缆夹头固定在所述屏蔽罩上。
本发明具有下列技术效果：1、电离室设计成半椭球形，有效降低离子生成能；2、射频天线绕制在半椭球形电离室外侧，采用LC谐振及调频技术实现阻抗匹配；3、设计前置气体分配器，相较于后置气体分配器，可有效提高气体电离效率及等离子体均匀度。

贺建武 康琦 段俐 胡良 马隆飞 薛森文

中国科学院力学研究所

100190 北京市海淀区北四环西路15号

本发明提供了一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器，包括：电离室、射频天线、进气系统、屏蔽罩、离子光学系统、电缆夹头；所述电离室为半椭球形,电离室入口连接进气系统，出口连接所述离子光学系统；所述屏蔽罩位于电离室外面；射频天线通上射频电流，用于在所述电离室内产生涡流电场，所述电缆夹头固定在所述屏蔽罩上。
本发明具有下列技术效果：1、电离室设计成半椭球形，有效降低离子生成能；2、射频天线绕制在半椭球形电离室外侧，采用LC谐振及调频技术实现阻抗匹配；3、设计前置气体分配器，相较于后置气体分配器，可有效提高气体电离效率及等离子体均匀度。