本发明涉及一种用电子回旋加速器共振等离子体制造非晶态碳层的设备，该设备包括等离子腔(13)，输送气体(4)的输送装置，磁镜(15)，沿参考轴线延伸的波导(5)，注入微波能量的注入装置(1)，用于在等离子腔(3)中生成磁场的生成装置(2)，用于在等离子腔(3)中生成磁场的生成装置(2)配置为创造磁场线的束(13)，等离子体沿磁场线束(13)传播；由碳制备而成的靶(9)；基底架(10)；其特征在于，靶(9)布置在到参考轴线(14)的距离为R

马克·德劳内 安妮·吉斯

法国原子能及替代能源委员会

法国巴黎

本发明涉及一种用电子回旋加速器共振等离子体制造非晶态碳层的设备，该设备包括等离子腔(13)，输送气体(4)的输送装置，磁镜(15)，沿参考轴线延伸的波导(5)，注入微波能量的注入装置(1)，用于在等离子腔(3)中生成磁场的生成装置(2)，用于在等离子腔(3)中生成磁场的生成装置(2)配置为创造磁场线的束(13)，等离子体沿磁场线束(13)传播；由碳制备而成的靶(9)；基底架(10)；其特征在于，靶(9)布置在到参考轴线(14)的距离为R