本发明公开了一种多极输出阵列式薄型MEMS微推进器，属于微推进技术和微机电系统(MEMS)领域，该微推进器采用正面式微推进器和侧面式微推进器相结合的方式。
本发明多极输出阵列式薄型MEMS微推进器的上盖片、基底制作完成后，采用键合方法将上盖片、基底组装在一起，最后再和带有励磁线圈的PCB电路板粘合在一起。
本发明具体为采用MEMS微加工技术制作的一种利用高频脉冲感应加热，使处于加热盘周围的液体迅速汽化成气体，并在微腔内形成高压，气体在高压的作用下经过喷嘴高速喷出，微推进器获得相反方向的驱动力。
该微推进器能够用于微卫星的位置保持、姿态控制和轨道调整等。

刘本东 杨旭 李默涵 田宝华 杨佳慧 李德胜

北京工业大学

100124 北京市朝阳区平乐园100号

本发明公开了一种多极输出阵列式薄型MEMS微推进器，属于微推进技术和微机电系统(MEMS)领域，该微推进器采用正面式微推进器和侧面式微推进器相结合的方式。
本发明多极输出阵列式薄型MEMS微推进器的上盖片、基底制作完成后，采用键合方法将上盖片、基底组装在一起，最后再和带有励磁线圈的PCB电路板粘合在一起。
本发明具体为采用MEMS微加工技术制作的一种利用高频脉冲感应加热，使处于加热盘周围的液体迅速汽化成气体，并在微腔内形成高压，气体在高压的作用下经过喷嘴高速喷出，微推进器获得相反方向的驱动力。
该微推进器能够用于微卫星的位置保持、姿态控制和轨道调整等。