本实用新型涉及流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置。
流体在管道内流动时，遇到横截面形状与/或面积变化，会产生紊流。
利用这种现象，在管道外设置横截面形状与/或面积调节装置，产生紊流，流体质点相互掺混均匀；流体管路常需要把流量调小，目前技术是把流量调节阀串联进管路中，在半导体加工设备的流体管路中，阀动作调节流量时，会摩擦产生很多微小颗粒物混入流体，影响加工质量，就用特别好非常贵的材料做阀，减少颗粒物产生，增加了成本。
本实用新型在塑胶管道上套一个挤压装置，把塑胶管挤变形横截面积变小，可以产生紊流均质，也可以调节流量，并且本装置在管外不会产生颗粒物混入流体，简洁可靠，降低成本，提高设备加工品质。

刘现营

新阳硅密（上海）半导体技术有限公司

201616 上海市松江区思贤路3600号10号楼1楼西侧

本实用新型涉及流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置。
流体在管道内流动时，遇到横截面形状与/或面积变化，会产生紊流。
利用这种现象，在管道外设置横截面形状与/或面积调节装置，产生紊流，流体质点相互掺混均匀；流体管路常需要把流量调小，目前技术是把流量调节阀串联进管路中，在半导体加工设备的流体管路中，阀动作调节流量时，会摩擦产生很多微小颗粒物混入流体，影响加工质量，就用特别好非常贵的材料做阀，减少颗粒物产生，增加了成本。
本实用新型在塑胶管道上套一个挤压装置，把塑胶管挤变形横截面积变小，可以产生紊流均质，也可以调节流量，并且本装置在管外不会产生颗粒物混入流体，简洁可靠，降低成本，提高设备加工品质。