一种集成化制出的流体系统，包含流体作动区、流体通道、汇流腔室以及多个阀，该流体作动区由至少一导流单元所构成，该导流单元受控制传输流体由其出口孔排出。
流体通道连通流体作动区的导流单元的出口孔，且具有多个分歧通道以分流流体。
汇流腔室连通流体通道。
各阀包含通道板、压电致动器及连杆，压电致动器驱动载板位移，连动连杆使其挡阻部控制通道板的入口通孔的启闭。
该多个阀分别设置于该多个分歧通道中，借由控制其启闭状态，以控制流体由该分歧通道中输出。
透过以上设置，可获取特定流速、压力与传输量的流体输出。

莫皓然 黄启峰 李伟铭 陈宣恺

研能科技股份有限公司

中国台湾新竹市科学园区研发二路28号1楼

一种集成化制出的流体系统，包含流体作动区、流体通道、汇流腔室以及多个阀，该流体作动区由至少一导流单元所构成，该导流单元受控制传输流体由其出口孔排出。
流体通道连通流体作动区的导流单元的出口孔，且具有多个分歧通道以分流流体。
汇流腔室连通流体通道。
各阀包含通道板、压电致动器及连杆，压电致动器驱动载板位移，连动连杆使其挡阻部控制通道板的入口通孔的启闭。
该多个阀分别设置于该多个分歧通道中，借由控制其启闭状态，以控制流体由该分歧通道中输出。
透过以上设置，可获取特定流速、压力与传输量的流体输出。