提供一种阀系统，能够防止在利用负压抽吸气体时流入口以及流出口被隔膜层堵塞。
第1流路(51)，与流入口(23)连接，使气体流入微型阀(1)内。
第2流路(52)，与流出口(24)连接，使气体从微型阀(1)内流出。
第3流路(53)，使气动流体流入至微型阀(1)内。
负压产生机构(泵(61))，通过在第2流路(52)一侧产生负压，经由微型阀(1)将气体从第1流路(51)抽吸至第2流路(52)一侧。
压力调整机构(连接流路(50)以及阀(63))，通过减小第2流路(52)内与第3流路(53)内的压力差，防止流入口(23)以及流出口(24)因在所述第2流路(52)一侧产生的负压被所述隔膜层(3)堵塞。

卢文剑 芝本繁明 柳林润

株式会社岛津制作所

日本国京都府

提供一种阀系统，能够防止在利用负压抽吸气体时流入口以及流出口被隔膜层堵塞。
第1流路(51)，与流入口(23)连接，使气体流入微型阀(1)内。
第2流路(52)，与流出口(24)连接，使气体从微型阀(1)内流出。
第3流路(53)，使气动流体流入至微型阀(1)内。
负压产生机构(泵(61))，通过在第2流路(52)一侧产生负压，经由微型阀(1)将气体从第1流路(51)抽吸至第2流路(52)一侧。
压力调整机构(连接流路(50)以及阀(63))，通过减小第2流路(52)内与第3流路(53)内的压力差，防止流入口(23)以及流出口(24)因在所述第2流路(52)一侧产生的负压被所述隔膜层(3)堵塞。