一种用于特殊气体混合配比的混气输送设备,包括:柜体、原料气供应单元,混气配比单元、混气供应单元、控制显示操作单元和报警单元,原料气供应单元设于柜体内,混气配比单元入口端与原料气供应单元连接,混气供应单元与混气配比单元出口端连接,控制显示操作单元和报警单元与柜体连接。
本实用新型与传统的管道直接传导的设备相比,通过现代化的电控手段达到监控、报警的作用,同时避免人工操作,提高生产安全性。
甘万 杨欣 江福荣
上海盛韬半导体科技有限公司
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一种用于特殊气体混合配比的混气输送设备,包括:柜体、原料气供应单元,混气配比单元、混气供应单元、控制显示操作单元和报警单元,原料气供应单元设于柜体内,混气配比单元入口端与原料气供应单元连接,混气供应单元与混气配比单元出口端连接,控制显示操作单元和报警单元与柜体连接。
本实用新型与传统的管道直接传导的设备相比,通过现代化的电控手段达到监控、报警的作用,同时避免人工操作,提高生产安全性。