本实用新型公开了一种化学品供液管路装置，包括过滤前汇合管路、第一支路、第二支路、过滤后汇合管路、第三支路、第四支路、第五支路、第六支路、第七支路、第八支路、第一旁路、第二旁路、第一过滤器、第二过滤器、第一进液阀、第二进液阀、第三进液阀、第四进液阀、第一排废阀、第二排废阀、第三排废阀、第四排废阀、第五进液阀、第六进液阀、第七进液阀、第八进液阀、第九进液阀、第十进液阀、第一VMB管路和第二VMB管路；本实用新型的化学品供液管路装置能够消除CMD柜发生部件损坏时可能产生的停机隐患；增加更换维修的便利性，提高时效；提供多种供液路径组合，可在各支路间灵活切换。

周礼誉

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本实用新型公开了一种化学品供液管路装置，包括过滤前汇合管路、第一支路、第二支路、过滤后汇合管路、第三支路、第四支路、第五支路、第六支路、第七支路、第八支路、第一旁路、第二旁路、第一过滤器、第二过滤器、第一进液阀、第二进液阀、第三进液阀、第四进液阀、第一排废阀、第二排废阀、第三排废阀、第四排废阀、第五进液阀、第六进液阀、第七进液阀、第八进液阀、第九进液阀、第十进液阀、第一VMB管路和第二VMB管路；本实用新型的化学品供液管路装置能够消除CMD柜发生部件损坏时可能产生的停机隐患；增加更换维修的便利性，提高时效；提供多种供液路径组合，可在各支路间灵活切换。